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真空脫泡固化箱組適用于用與IGBT功率模塊和固態灌封工藝過程中通過真空泵，將真空箱內的氣體抽到負壓狀態抽真空將膠水中的氣泡去除（俗稱脫泡）及膠水熱固化。固化后可起到防水，防潮，防塵，絕緣等特性。被廣泛地采用在功率半導體行業。
a、真空部分
? 選用優質高抽速真空泵，抽速越快。模塊的膠水脫泡越快，生產效率越高。
? 箱體帶有快、慢抽閥裝置可以根據客戶生產需求調節真空箱抽速。
? 配備電磁真空截止閥，防止真空室“返油”，保證了真空室的潔凈度
? 箱體配有廢氣過濾裝置，確保無污染氣體的排放。
b、高溫部分：
?箱體采用三面輻射加熱方式，保證箱體溫度均勻度。
?溫度均勻性表征的是真空干燥箱整個內部空間溫度的差異,溫差越小說明箱體的溫度均勻性越高,產品模塊的工藝一致性越高,產品穩定性越好。
c、選配部分：
?可選用帶有充氮系統氧含量：≤50PPM
?油泵和干泵
d、控制系統部分：
高精度可編程控制系統或數顯式真空儀表,便于客戶根據產品需要選配不同的控制系統
真空脫泡箱參數：
a、真空系統由：真空室、真空泵、真空計、抽速快慢調節電磁閥、真空管道，返油閥等組成。
b、真空室：真空室整體為方箱式結構，由 SUS316L 不銹鋼板焊接而成，為增加強度焊接有加強裝置。真空室門設有檢測開關，門未關閉到位不得開啟真空泵。
c、材質：測試區內箱SUS#304不銹鋼板,外箱烤漆（RAL 9002 Greey white 灰白色）
a、真空泵：選用雙極旋片真空泵，換氣率為8L/S，能快速將內部空氣抽到真空狀態。
d、真空計：選用高精度真空計，實時測量真空室內壓力。
e、真空閥：真空閥分快抽閥和慢抽閥兩種，在粗抽真空時采用慢抽閥，避免大抽速對工件的影響，當真空度到一個設定值時自動轉換為快抽閥。
f、移動腳輪：強力螺栓固定位置支撐腳4個，移動調整輪4個(500Kg /輪 )移動試驗箱用。
固化箱參數：
a、內箱材質：SUS304#不銹鋼板 T=1.2mm，附加整體結構加固。
b、外箱材質：雙面鍍鋅鋼板 T=1.5mm，外箱烤漆。
c、保溫材質：保溫絕緣層耐燃防火 PU ＋ 隔熱玻璃棉(保溫層厚 100 mm)。
d、箱 門：全開單翼型帶有雙層硅橡膠密封和門鎖。
e、置 物 架：可活動調整柵盤架與 SUS304#不銹鋼條狀柵盤二只(盤架每間格 5.0 cm)
控制器：觸摸式中英文液晶顯示器
設定時間容量：0 H 1 M ～ 9999 H 59 M.
預約開機時間：預約時間設定功能.
畫 面 顯 示：彩色實時曲線顯示畫面
覆電后選擇：停電覆電后可“繼續”“重新”“停機”之設定選擇.
溫度保護上下限：設定試驗程序儲存同時，自動設定高低溫度保護上下限
模 式 選 擇：定點或可程序 控制模式
通信接口：SD 卡存儲、RS232 連接 RS485 通信接口
時序插座：配時序電源輸出控制接口，可提供依程序設定要求的開關信號輸出。
彩色觸屏控制器，可對抽真空(開/關）、充氮氣（通/斷）、升溫進行編輯可進行程序編輯，儲存和調用。
我司采用的PID微電腦自動控溫器，能夠通過設定內部的上下溫度限值來對機器工作室的過溫問題報警及停止功率輸出，以達到保護機臺內的產品不因過溫而導致不必要的損失。
高溫保護系統：當由于外力原因導致溫度失控時，本系統會在超過設定溫度10度時自動停止整機供電，從而保護你的產品及機器的安全。
過流保護系統：當由于外加電壓過高或其它原因導致整機的功率超出正常功率時，本系統會自動斷電保護整機的工控組件不被損壞。
設備基本技術指標
設備名稱：真空脫泡固化箱組
設備型號：AHVT-RT0120J
真空脫泡箱參數：
內箱尺寸W×H×D mm：600×600×600
外箱尺寸W×H×D mm：1250×1650×900
內箱容積 :216L
真空度：100Pa
抽真空＜133Pa時間：≤5分鐘
加熱方式：熱輻射加熱（箱體三面加熱）
溫度范圍：RT+10～200℃
升溫時間：首次升溫時間，室溫～200℃約為97分鐘
固化箱參數：
內箱尺寸W×H×D mm：500×600×500
外箱尺寸(W×H×D)mm：880×1400×735
內箱容積 :150L
溫度范圍：RT+10～200℃
加熱器：不銹鋼發熱管。
升溫速率：≤3℃/min（全程平均空載）
溫度波動度：≤±0.5℃
溫度均勻度：≤2.0℃
溫度偏差: ≤±2.0℃
充氮系統(選配）
a、氮氣流量計：10～100L/min可調
b、氮氣入口：φ10mm快接口
c、手動泄壓閥，用于停電時泄壓或排氮氣用。
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