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適用的第三代半導體的研發和工藝改進 1、高溫擴散工藝技術的改進（重點是高溫長時間擴散，如隔離擴散）包括可能引起硅片內部隱裂的工藝技術改進 2、包封工藝技術、框架處理工藝技術的改進 3、塑封料、框架的變更 4、新產品（含新的封裝結構） 5、封裝工藝過程中的污染
高溫高濕反偏試驗系統特點：
支持USB接口記錄功能，可擴展RS232、RS485連接計算機；
適用的SiC、GaN器件進行高溫高濕反偏試驗（H3TRB）研發和工藝改進
1、主要工藝技術的研發和改進
2、主要原材料的變更
3、新產品(偏向于芯片)
4、汽車電子產品（1000h）
符合JESD22-A108、MIL-STD-750 Method 1038及AEC Q101、GJB128A
箱體材質：測試區內箱SUS#304不銹鋼板,外箱粉體烤漆。
保溫材質：保溫絕緣層耐燃防火 PU ＋ 隔熱玻璃棉。
箱 門：全開單翼型，帶有雙層硅橡膠密封和門鎖。
老化板：聚酰亞胺（Polymide）板材，Tg260℃；表面噴涂三防漆。
移動腳輪：強力螺栓固定位置支撐腳4個，移動調整輪4個(500Kg /輪 )移動試驗箱用。
工控機配置：配置12英寸彩色液晶顯示器工業計算機，觸控顯示屏，便于操作。機箱及電源：工控專用機箱串行通訊接口：4個
軟件配置：Windows 7中文 32位正版設備專用控制軟件
檢控板配置：每個通道配置獨立驅動檢測板，8塊驅動檢測板對應8個老化通道；檢控板為通用設計考慮，完全一致，可互換；
主要功能：試驗每通道電壓/工位漏電流檢測/試驗箱溫度檢測；
老化板插板狀態檢測；
回路通斷狀態檢測；
驅動板通信狀態檢測；
設備自檢以及高壓擊穿保護功能。
每工位高壓擊穿保護（每工位串聯一個快熔陶瓷保險絲）。
數據記錄：試驗全程記錄每個被試器件的漏流參數。
采樣率：可根據需要設置數據采樣間隔時間，間隔時間可設為1分鐘到9999分鐘
數據管理：原始數始以自定義格式記錄數據保存于硬盤中，配套相應的軟件可根據記錄繪制漏電曲線和生成Excel數據報表。最大記錄數可達100000個。
數據備份：系統具有數據自動備份功能。
系統可靠性：平均無故障時間;系統平均運行無故障時間≥10000小時
通信方式：RS-232轉換器可連接單機電腦(可選配：RS-485遠程連接監控）
漏電斷路器安全保護 ，控制回路短路保護保險絲
電源用漏電斷路器、溫度保險絲、風機溫度開關
上下限溫度報警、超溫保護設定器
意外斷電時系統自動切斷總電源，供電時需要人為操作恢復系統正常工作
一、設備技術指標
1.1設備名稱：高溫高濕反偏試驗系統
1.2設備型號：AS-H3TRB-H8
1.3恒溫恒濕箱內箱尺寸：600×850×800 mm （W×H×D）
外體尺寸：1265×1720×1090mm (W ×H× D)
監控柜：700×1810×1200 mm （W×H×D）
內箱容積 :408L
1.4試驗箱溫度范圍：-20～+180℃
建議測試溫度范圍：-20～+175℃
1.5濕度范圍：10%~98%RH
1.6溫度偏差：±1.5℃ ≤125℃時；±2℃ ≤175℃時；
帶可程序設計計時控制開關裝置，雙重超溫保護功能。
1.7 升溫速率：-20℃～+180℃：≥3℃/min（全程平均）
降溫速率：+180℃～-20℃：≥1℃/min（全程平均）
1.8 溫度波動度：≤±0.5℃
濕度波動度：≤±3%RH
1.9 溫度均勻度：≤2.0℃
濕度均勻度：≥75%RH時 均勻度≤±3%RH
≤75%RH時 均勻度≤±5%RH
1.10溫度偏差: ≤±2.0℃
二、試驗能力及電源
2.1試驗能力:最大電壓1500V，建議最高試驗溫度175℃。
2.2通道分區：8個老化試驗通道，5臺獨立直流電源。每個電源對應2個試驗通道，整機共可同時試驗4種不同規格的器件。
2.3滿載容量:40顆/每通道×8通道＝320顆。（最大數量）
2.4 插板骨架材質：304不銹鋼板材料，高溫高濕下長時間工作不生銹；
（該插板骨架放置在高溫高濕試驗箱內，根據高溫箱內部尺寸定制）
2.5使用范圍: 各種封裝二極管、半橋、三極管、可控硅、IGBT、DIODE、MOSFET、HEMT、BJT、SCR、SiC、GaN器件進行高溫高濕反偏試驗（H3TRB)
2.6試驗目的：評估器件在高溫，高濕，偏壓條件下對濕氣的抵抗能力，加速其失效進程，同時可附帶評價器件外觀的寢蝕。
2.7測試使用標準: GB/T 4937-1995 第Ⅲ篇 5；GB/T 2423.3-2006；JESD22-A101C。
2.8試驗線路及試驗方法滿足JESD22-A108、MIL-STD-750 Method 1038及AEC Q101 、GJB128A相關標準要求。
三、結構特征
3.1 箱體材質：測試區內箱SUS#304不銹鋼板,外箱粉體烤漆。
3.2 保溫材質：保溫絕緣層耐燃防火 PU ＋ 隔熱玻璃棉。
3.3 箱 門：全開單翼型，帶有雙層硅橡膠密封和門鎖。
3.4 老化板：聚酰亞胺（Polymide）板材，Tg260℃；表面噴涂三防漆。
3.5移動腳輪：強力螺栓固定位置支撐腳4個，移動調整輪4個(500Kg /輪 )移動試驗箱用。
四、電源方案:電源規格及數量可選配
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